January 12, 2023
반도체 산업의 세 번째 이전과 함께 국내 반도체 산업의 지속적인 급속한 발전은 반도체 장비에 대한 수요를 크게 증가 시켰습니다.동시에, 원래 생산 라인의 변형과 업그레이드가 가속화되어 국내 로봇 산업 체인 기업에 중요한 응용 기회를 제공합니다.
로봇의 적용을 위해 반도체 산업은 "높은 요구 사항, 높은 표준 및 높은 장벽"을 가진 전형적인 산업입니다.반도체 제조 과정 에서 로봇 이 필수적 인 것, 그리고 지능형 제조의 가장 기본적인 현장 지능형 인프라 장비로,반도체 제조에서 전기 액추에이터의 응용 시나리오는 지속적으로 확장되고 있습니다..
로버스트모션은 모션 컨트롤 시스템과 지능형 전기 액추에이터에 초점을 맞추고 있습니다. 그것은 전기 손잡이, 전기 밀어 막대기, 전기 슬라이드 테이블,로터리 실린더이 다양한 제품들은 고객들이 다른 작업 조건에 따라 적합한 옵션을 선택하고 조립할 수 있게 합니다.
RobustMotion의 액추에이터는 그들의 유연성, 정확성, 개방성, 제어 가능성으로, 웨이퍼 제조를 포함한 반도체 산업의 다양한 프로세스에 적합합니다.포장이러한 특성은 산업의 다양한 프로세스의 응용 요구 사항을 효과적으로 충족시킬 수 있습니다.
01 유연성
웨이퍼 제조 또는 포장 및 테스트에 관계없이 장비는 여러 프로세스의 요구, 빠른 속도 및 낮은 오류율에 적응해야합니다.고도로 통합 된 전자 기계 설계 및 강력한 드라이브 제어 통합 기술에 기반, RobustMotion 액추에터는 풍부한 사전 설정 기능과 높은 생산 유연성을 가지고 있습니다. 예를 들어 전기 손잡이를 취하면 동일한 모델의 손잡이는 광범위한 출력 기능을 가지고 있습니다.특정 스트로크 범위 내에서, 그것은 반복 디버깅의 필요 없이 다양한 작업 부품을 적응적으로 잡을 수 있습니다. 이것은 효과적으로 생산 유연성과 적응력을 향상시키고 궁극적으로 생산 효율성을 향상시킵니다.
02 개방성
개방적이고 호환적이며 유연한 RobustMotion 전기 액추에이터의 모션 제어 시스템은 다양한 유형의 장비에 내장되거나 멀티 축 로봇으로 자유롭게 조립 할 수 있습니다.또한 다른 유형의 로봇과 결합하여 시각 및 음성 제어와 같은 추가 시스템과 호환되는 복합 로봇을 만들 수 있습니다.이것은 안정적인 협업을 가능하게 하고 현장 물류 시스템, 중앙 제어 시스템 또는 클라우드 기반 데이터 플랫폼과 인터페이스를 위해 데이터를 출력할 수 있습니다.더 복잡하고 고도로 통합 된 현대 생산 요구의 요구 사항을 충족합니다..
예를 들어, 전기 손잡이는 AMR, 로봇 팔 또는 복합 로봇과 함께 웨이퍼 카세트를 잡고 옮기는 등의 작업을 위해 사용될 수 있습니다.또한 웨이퍼 카세트의 자동 충전 및 배하.
03 제어 가능
RM 소프트웨어 제어 시스템은 사용자 친화적 인 인터페이스와 간단한 조작으로 포인트에서 포인트 이동을 빠르게 설정 할 수 있습니다.또한 실시간 또는 오프라인에서 힘 위치 데이터를 수집 할 수 있습니다., 운영 상태의 실시간 모니터링 및 디지털 관리, 생산을 더 효율적이고 제어 할 수 있습니다.
04 정확성
반도체 산업에서는 제조 과정이 복잡하고 수백 개 또는 수천 개의 단계가 포함되며 생산 장비에서 높은 정밀도를 요구합니다.반도체 기술이 계속 발전함에 따라, 기존 장비는 점차 더 높은 정확성의 요구를 충족 할 수 없습니다.RobustMotion의 독점적인 SoftForce® 정밀 힘 제어 기술은 산업에 더 높은 힘 제어 정확성을 제공하는 정밀 힘 제어 제품과 솔루션 시리즈를 제공합니다..
RM 정밀 힘 제어 전기 손잡이, 정밀 힘 제어 전기 액추에터, 정밀 힘 제어 전기 슬라이드, 정밀 힘 제어 직동 액추에터다른 것 들, 높은 정확성, 유연성 및 지능의 장점으로 다양한 생산 공정에서 활발하게 사용됩니다. 웨이퍼의 중앙 위치,마이크로 칩의 전송, 그리고 고주파 픽업 및 granules 배치.
로부스트모션®정밀력 조절 마이크로 클리퍼는 섬세하고 부서지기 쉬운 칩을 정밀하게 잡을 수 있습니다.
로부스트모션 (RobustMotion) ® 정밀 힘 제어 마이크로 립퍼는 125μm 지름의 매우 얇고 부서지기 쉬운 광섬유 튜브를 안전하게 잡을 수 있습니다.
반도체 기술은 계속 반복되고 있으며, 장비 업그레이드 수요를 더욱 증가시키고 있습니다.또한 RobustMotion은 반도체 높은 수요를 충족시키기 위해 제품 업데이트와 기술 돌파구를 위해 노력을 아끼지 않습니다, 높은 수준의 첨단 프로세스 필요; 동시에, 반도체 산업의 다양한 분야에서 상류 및 하류 공동 기업,유연한 제조 생태계 구축과 함께, 그리고 공동으로 중국의 반도체 산업을 더 높은 수준의 자동화, 유연성, 지능적인 방향에 더 도약하도록 돕습니다. 자동화, 유연성 및 지능.
